Topographisch / Morphologische Oberflächencharakterisierung

Prüfleistungen / Methoden / Kompetenzen:

• AFM – Atomic Force Microscopy
  • 3D-Topographie im Nanometerbereich
• SEM – Rasterelektronenmikroskopie
  • Mikrostrukturen, Oberflächenmorphologie
• Konfokale Mikroskopie
  • hochauflösende 3D-Oberflächenmessung
• Taktile Rauheits- und Konturmesssysteme
  • Rauheit, Welligkeit, Kontur

Typische Anwendungen / Beispiele aus der Praxis

3D-Geometrie, Kontur, Rauheit, Oberflächenstruktur

• 2D/3D-Topographiemessung - von Makro bis Nano
• Rauheits- und Welligkeitsmessung
• Mikro- und Nanostrukturvisualisierung
• Defekt- und Oberflächenmorphologie

Chemische Oberflächenanalysen

Prüfleistungen / Methoden / Kompetenzen:

• EDX/EDS (bei SEM)
  •  Elementanalyse (nicht so oberflächenspezifisch wie XPS)
• XPS – Röntgenphotoelektronenspektroskopie
  • Oberflächenchemie, Bindungszustände, Schichtdicken im nm-Bereich
• FIB-SIMS – Sekundärionen-Massenspektrometrie
  • Spurenelemente & Tiefenprofile
• Raman-Spektroskopie
  • chemische Phasen, Molekülstrukturen
• XRD – Röntgendiffraktometrie

  • Phasenanalyse, Identifikation von Kristallstrukturen, Mischphasen, Oxiden, kristalline Rückstände

     

Typische Anwendungen / Beispiele aus der Praxis

Analyse der chemischen Zusammensetzung, Bindungszustände und Kontaminationen.

• Element- und Zusammensetzungsanalyse
• Kontaminations- & Rückstandsanalytik
• Bindungszustands- & chemische Zustandsanalyse
• Phasen- und Strukturcharakterisierung

Mechanische Oberflächenanalysen

Prüfleistungen / Methoden / Kompetenzen:

• Nanoindentation / Mikroindentation
  → Messung von Härte & Elastizitätsmodul im Mikro- und Nanobereich
• Scratch-Test
  → Haftfestigkeit von Schichten
• Tribologische Tests (Pin-on-Disk, Reib-/Verschleißtests)
  → Reibungskoeffizienten, Abrieb
• Mikrozug- oder Biegetests (für dünne Schichten)

Typische Anwendungen / Beispiele aus der Praxis

Untersuchen mechanische Eigenschaften wie Härte, Elastizität, Reibung oder Verschleiß.

• Härte- und Elastizitätsbestimmung (Mikro/Nano)
• Verschleiß- und Reibungsverhalten
• Haftfestigkeit von Schichten
• Mikro-/Nano-Mechanik von Oberflächen

Prüfleistungen / Methoden / Kompetenzen:

• Ganzheitliche Bewertung von Oberfläche–Randschicht–Substrat-Systemen
• Kombination mechanischer, mikrostruktureller und physikalischer Analyseverfahren
• Hohe Erfahrung mit fertigungsnahen Fragestellungen aus Wärmebehandlung, Beschichtung und Nachbearbeitung sowie spezifischen Themen wie Dünn- und Dickschichten in der Mikroelektronik (z.B. Löt- und Bondschichten)
• Analyse von Beschichtungen, Randschichten und oberflächennahen Werkstoffzuständen (z. B. PVD/CVD-Schichten, galvanische Überzüge, thermische Spritzschichten, chemische und mechanische Oberflächenbehandlungen)
• Untersuchung von Schichtdicke, Randschichttiefe, Mikrostruktur, Zusammensetzung, Härteverläufen, Haftfestigkeit und Defekten mittels zerstörender und zerstörungsfreier Prüfmethoden

Spezifische technische Merkmale & Informationen

• Bestimmung von Randschicht- und Schichtdicken im µm- bis mm-Bereich
• Analyse von Mikrostruktur, Phasenverteilung und Härtegradienten
• Untersuchung von Eigenspannungen infolge Wärme- oder mechanisch-thermischer Behandlungen
• Bewertung von Grenzflächen, Porosität, Rissbildung und Haftproblemen
• Prüfungen an eben geformten sowie komplexen Bauteilen

Typische Anwendungen / Beispiele aus der Praxis

• Fehleranalyse an mikroelektronischen Baugruppen, Chips, Substraten und Packages
• Untersuchung von thermisch geschädigten Löt-, Bond- oder Metallschichten
• Analyse von Rissbildung und Delamination nach Temperaturwechseltests
• Prüfung von beschichteten Werkzeugen und Funktionsbauteilen
• Bewertung von wärmebehandelten Funktionsbauteilen im Maschinen- und Anlagenbau
• Unterstützung bei Schadensanalysen, Prozessfreigaben und Produktqualifikation