Die Scanning Thermal Microscopy (SThM) ermöglicht eine hochauflösende, lokalisierte Messung von Temperaturverteilungen auf Mikro- und Nanostrukturen. Dadurch lassen sich thermische Hotspots, Wärmeleitfähigkeiten und Energieflusswege direkt sichtbar machen. Die Methode ist besonders wertvoll, um das thermische Verhalten moderner elektronischer Bauteile zu verstehen und deren Design hinsichtlich Effizienz und Zuverlässigkeit zu optimieren.